芯源微取得晶圆搬运装置及晶圆搬运方法专利，能够扩展晶圆的取送范围，有利于提高产能“不许喊辅导员，要叫老师”，网友不惯毛病：职位不大还挺矫情

来源：undefined日期：2024-09-24 02:13:17 浏览：190

金融界2024年9月18日消息，天眼查知识产权信息显示，沈阳芯源微电子设备股份有限公司取得一项名为“晶圆搬运装置及晶圆搬运方法“，授权公告号CN113628994B，申请日期为2021年8月。

专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆搬运装置，包括外侧壁均设置有取送导向结构的第一支撑机构和第二支撑机构；还包括第一取送机构和第二取送机构，分别活动设置于所述第一支撑机构的取送导向结构和所述第二支撑机构的取送导向结构；所述第一取送机构和所述第二取送机构均包括朝向相反的末端执行部；还包括旋转机构和旋转驱动部，所述第一支撑机构和所述第二支撑机构固定设置于所述旋转机构，所述旋转驱动部驱动旋转机构作旋转运动，进而带动所述第一支撑机构和所述第二支撑机构的至少一个同步旋转，能够扩展晶圆的取送范围，有利于提高产能。本发明还提供了一种晶圆搬运方法。